Am Institut für Mikrosystemtechnik forschen Ingenieure und Physiker an aktuellen Themen der Mikro‐, Nano- und Biointegration. In enger Zusam‐ menarbeit mit Partnern aus der Medizin, Biologie und Materialwissenschaf‐ ten werden für die Medizintechnik intelligente Implantate, Lab‐on‐a‐Chip, Organ‐on‐a‐Chip und drahtlose low‐power Sensor‐ und Aktuatorsysteme entwickelt. Beispiele hierzu sind Mikro‐Konnektoren für die Regeneration des Rückenmarks, Mikroanalytik‐ und Biosensor‐Systeme für die Diagnostik, Bioreaktoren für die Kultivierung von Tumoroiden oder „Engineered Heart Tissue“ zum Screening von Wirkstoffen und Funkelektroden zur drahtlosen Ableitung von Biosignalen. Auf 650 m² Technologie‐ und Reinraumfläche mit allen notwendigen Anlagen für die Mikrostrukturierung und Mikrochip‐Herstellung stehen Verfahren für die Silizium‐, Glas‐ und Polymerbearbeitung mit zugehörigen Mikrofluidik‐ und Photonik‐Laboren zur Verfügung. Die Forschungsinfrastruktur für die Co‐Integration von Photonik und Elektronik „ForLab HELIOS“ im Verbund mit der Universität Hamburg wird mit 5,2 Mio. Euro Förderung vom BMBF ausgebaut.